Cette technologie se base sur l’utilisation de MEMS, des systèmes micro-électro-mécaniques. Nous avons la chance de pouvoir les fabriquer nous-mêmes dans notre salle blanche. Ce sont des dispositifs contenant des éléments mécaniques et électromécaniques miniaturisés, fabriqués à l’aide de techniques de microfabrication. Leurs tailles varient du millimètre à bien en-dessous d’un micromètre.
Nous maitrisons le procédé de fabrication dans sa globalité en créant le dispositif selon nos besoins (design, fabrication, caractérisation). Nous utilisons tout d’abord un espace dédié à la lithographie, qui permet le transfert des motifs souhaités dans de la résine photosensible. Ensuite, chaque partie du wafer non protégée par une couche protectrice de résine, sera gravée de façon anisotrope à l’aide d’un équipement qui permet de créer un plasma. Différents niveaux, alignés entre eux, en face avant et face arrière du wafer seront nécessaires pour la fabrication des dispositifs. C’est ainsi que la fabrication du dispositif MEMS prendra forme.